Власовский В.В., Жалнова Е.В. ОПТИМИЗАЦИЯ ПРОЦЕССА АНИЗОТРОПНОГО ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ХИМИЧЕСКИ АКТИВНОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА // Международный журнал экспериментального образования. 2011. № 3. С. 50-51;
URL: https://www.expeducation.ru/article/view?id=1206 (дата обращения: 22.08.2026).