Жалнова Е.В. КИНЕТИКА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ В МАГНЕТРОННОМ РАЗРЯДЕ // Международный журнал экспериментального образования. 2011. № 3. С. 133-134;
URL: https://www.expeducation.ru/article/view?id=1268 (дата обращения: 22.08.2026).